在芯片制造这个极其精密的微观世界里，向纯净的硅中掺入杂质，是堪称“点睛”的关键一步——原本不导电的硅，由此获得了半导体器件的“灵魂”，而负责完成这项精密任务的工艺，就叫作离子注入。电科装备下属中科信半导体公司深耕离子注入领域，已形成中束流、大束流、高能机等全系列产品布局，可为行业客户提供一站式解决方案。
根据束流强度，离子注入机分为低、中、高三档，中束流离子注入机正是当前逻辑与存储芯片量产的主力机型之一。它的高超之处，在于能把硼、磷等元素变成带电的高速“离子子弹”，并以极高速度精准打入硅片的指定深度。这听起来简单，实际上比“驾驶超音速战斗机一次性完成极限侧方位停车”还要困难。在实际运行中，超两万个零部件协同，需在真空环境中，以纳米级精度持续控制离子束的能量、角度和剂量，任何微小的电压扰动或尘埃颗粒都可能导致整批晶圆的掺杂失效，运行稳定性的门槛极高，是一场极致的科技较量。
在离子注入机产品矩阵中，中束流离子注入机是承上启下的关键一环：既兼顾注入的精准性，又满足量产的跑片量。它追求剂量控制、生产效率和工艺灵活性的完美平衡，是高精度模拟器件、存储器件和逻辑电路制造中无可替代的“中坚力量”。其束流适中，每次注入都能做到不偏不倚，确保数以亿计的晶体管性能稳定一致。
中束流离子注入机采用高精度质量分析与扫描控制技术，集成毫安级束流传输系统、实时剂量反馈与颗粒控制模块，由此构建起电子材料的“掺杂神经网”。它将“掺杂信号”精准转化为材料内部的电性能调控，既能保证掺杂的均匀分布，又能通过热退火充分激活杂质原子，最终绘就晶体管性能的“完美特性图谱”。这台设备在海量实验与反复淬炼中持续迭代，才最终完成从实验室原型到7×24小时稳定运行的跨越。
曾经，这款尖端设备是我国芯片产业链上的薄弱环节之一。但如今，以中国电科为代表的技术团队迎难而上，突破了高稳定性离子源、晶圆传输系统、剂量控制系统及自动调束系统等技术难关。设备既能满足高精度模拟器件的精细掺杂要求，也能支撑大规模逻辑芯片、存储芯片的量产需求，为我国半导体产业链安全发展筑牢装备支撑。
在中科信半导体的产线上，科研人员历经成千上万次软硬件协同调试，将设备核心参数置换率推至行业顶级水平，设备在剂量控制精度、生产效率与工艺灵活性上，精准匹配国内主流芯片厂商的量产需求，不仅兼容逻辑与存储工艺，还全面覆盖CIS及碳化硅器件等多赛道工艺需求。目前，已实现产线晶圆累计制备超亿片。
悦读.中国电科
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